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低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气以失败而告终的原因。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体产品利用螺旋波低温冷光技术产生的高能离子束和电子束形成的低温等离子体，以每秒800万次-5000万次的速度反复轰击异味气体分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成分，从而发生氧化等一系列的化学反应。等离子处理废气的原理如下：
1. 等离子通电后会形成一个1.5万伏的高压电场，废气在进入的时候被电离，分子键断裂，废气分子被分解成高能电子。
2. 氧气O2被电离成O- （游离态的氧原子），因游离氧所携正负电子不平衡，所以需要与氧分子结合，进而产生臭氧O3。
3. 废气电子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
