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温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
喷漆废气中的三苯浓度一般低于300mg/m3低浓度、大风量的有机废气治理，采用催化燃烧法(适用于浓度大于500mg/m3)处理不合适,所以只能用低温等离子废气处理设备来处理这种类型的工业废气。(适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等)同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体产品利用螺旋波低温冷光技术产生的高能离子束和电子束形成的低温等离子体，以每秒800万次-5000万次的速度反复轰击异味气体分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成分，从而发生氧化等一系列的化学反应。等离子处理废气的原理如下：
1. 等离子通电后会形成一个1.5万伏的高压电场，废气在进入的时候被电离，分子键断裂，废气分子被分解成高能电子。
2. 氧气O2被电离成O- （游离态的氧原子），因游离氧所携正负电子不平衡，所以需要与氧分子结合，进而产生臭氧O3。
3. 废气电子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
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1、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能，如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或无害分子。
2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应， 生成无害产物。
3、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
4、生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使生物表面产生
